Cav siab sensor 2CP3-68 1946725 rau Carter excavator

Ib txoj hauv kev npaj lub siab sensor, uas muaj xws li cov kauj ruam hauv qab no:

S1, muab wafer nrog lub nraub qaum thiab sab pem hauv ntej;Tsim ib txoj hlua piezoresistive thiab ib qho chaw sib chwv hnyav rau ntawm lub ntsej muag ntawm lub wafer;Ua kom lub siab sib sib zog nqus kab noj hniav los ntawm etching sab nraum qab ntawm lub wafer;

S2, khi ib daim ntawv txhawb nqa rau sab nraum qab ntawm wafer;

S3, kev tsim cov hlau lead qhov thiab cov hlau hlau nyob rau sab pem hauv ntej ntawm lub wafer, thiab txuas piezoresistive strips los tsim ib tug choj Wheatstone;

S4, depositing thiab tsim ib tug passivation txheej nyob rau hauv pem hauv ntej nto ntawm lub wafer, thiab qhib ib feem ntawm passivation txheej los ua ib tug hlau pad cheeb tsam.2. Txoj kev tsim khoom ntawm lub siab sensor raws li daim ntawv thov 1, nyob rau hauv S1 tshwj xeeb suav nrog cov kauj ruam hauv qab no: S11: muab lub wafer nrog lub nraub qaum thiab sab pem hauv ntej, thiab txhais cov thickness ntawm lub siab rhiab zaj duab xis ntawm lub wafer;S12: ion implantation yog siv nyob rau hauv pem hauv ntej nto ntawm lub wafer, piezoresistive strips yog tsim los ntawm ib tug high-kub diffusion txheej txheem, thiab kev sib cuag cheeb tsam yog hnyav doped;S13: tso nyiaj thiab tsim cov txheej txheem tiv thaiv ntawm sab xub ntiag ntawm wafer;S14: etching thiab tsim lub siab sib sib zog nqus kab noj hniav nyob rau sab nraum qab ntawm wafer los tsim ib tug siab rhiab zaj duab xis.3. Txoj kev tsim khoom ntawm lub siab sensor raws li daim ntawv thov 1, nyob rau hauv wafer yog SOI.

Xyoo 1962, Tufte et al.tsim lub piezoresistive siab sensor nrog diffused silicon piezoresistive strips thiab silicon zaj duab xis qauv thawj zaug, thiab pib tshawb fawb ntawm piezoresistive siab sensor.Nyob rau hauv lub lig 1960s thiab thaum ntxov 1970s, cov tsos ntawm peb technologies, namely, silicon anisotropic etching technology, ion implantation technology thiab anodic bonding technology, coj zoo kev hloov mus rau lub siab sensor, uas ua lub luag hauj lwm tseem ceeb nyob rau hauv kev txhim kho cov kev ua tau zoo ntawm lub siab sensor. .Txij li xyoo 1980s, nrog rau kev txhim kho ntxiv ntawm micromachining thev naus laus zis, xws li anisotropic etching, lithography, diffusion doping, ion implantation, bonding thiab coatings, qhov loj ntawm lub siab sensor tau raug txo qis, qhov rhiab heev tau txhim kho, thiab cov zis tau siab thiab kev ua tau zoo heev.Nyob rau tib lub sijhawm, kev txhim kho thiab kev siv cov tshuab micromachining tshiab ua rau cov yeeb yaj kiab thickness ntawm lub siab sensor raug tswj tau.