Lub cav siab sensor 2CP38-68 1946725 rau carter excavator

Ib txoj hauv kev rau kev npaj lub siab sensor, uas pom los ntawm cov kauj ruam hauv qab no:

S1, muab wafer nrog sab nraub qaum thiab sab pem hauv ntej; Txoj kev sib sau ua cov kab txaij kab txaij thiab cov pa hluav taws xob hnyav rau thaj tsam ntawm sab hauv ntawm cov wafer; Kev tsim lub siab sib sib zog nqus kab noj hniav los ntawm etching sab nraub qaum ntawm cov wafer;

S2, kev sib tham ib daim ntawv txhawb nqa nyob sab nraum qab ntawm cov wafer;

S3, manufacturing coj cov qhov thiab hlau hlau nyob rau sab pem hauv ntej ntawm cov wafer, thiab txuas cov kab ke ntawm cov kab ke wheatstone;

S4, tso nyiaj thiab tsim cov txheej passivation nyob rau sab xub ntiag ntawm cov wafer, thiab qhib ib feem ntawm txheej passive los ua ib thaj chaw hlau. 2. Kev tsim qauv ntawm lub siab sensor raws li thov 1, Wherein S1 tshwj xeeb muaj cov kauj ruam hauv qab no thiab cov duab tuab, thiab cov duab tuab ntawm cov wafer; S12: ion imgantation yog siv nyob rau sab xub ntiag ntawm cov wafer, piezoresive strips yog tsim los ntawm cov txheej txheem kub siab, thiab cov cheeb tsam hu tau loj heev. S13: kev tso nyiaj thiab tsim cov txheej tiv thaiv ntawm cov txheej txheem ntawm cov wafer; S14: etching thiab kev sib sau lub siab sib sib zog nqus kab noj hniav sib sib zog nqus nyob tom qab ntawm wafer los ua cov mauv fig. 3. Kev tsim qauv ntawm lub siab sensor raws li thov 1, nyob rau Wafer yog Soi.

Xyoo 1962, Tufte li al. Tsim lub piezoresive siab sensor nrog diffused silicon piezoresistive strips thiab silicon zaj duab xis qauv qauv rau thawj zaug, thiab tau pib tshawb fawb ntawm Piezoresistive siab sensor. Nyob rau hauv lub xyoo 1960 thiab thaum ntxov xyoo 1970, yog qhov kev hloov pauv ntawm lub siab, uas yog lub luag haujlwm tseem ceeb rau kev txhim kho kev ua haujlwm ntawm lub siab sensor. Txij li xyoo 1980s, nrog rau kev txhim kho tshuab micromaching ntxiv, kev sib txawv, qhov loj me, thiab cov zis tau zoo thiab kev ua tau zoo heev. Nyob rau tib lub sijhawm, kev txhim kho thiab kev siv ntawm kev siv tshuab tshuab tshiab micromachining tshiab ua rau cov yeeb yaj kiab tuab ntawm lub siab sensor raug tswj.