Cov feem ntau siv semiconductor siab sensor siv n-hom silicon wafer li lub substrate. Fircally, cov khoom cua sifa yog ua rau muaj kev ntxhov siab ntawm cov kab mob uas yog ib qho geometry. Ntawm kev ntxhov siab-cov kabmob-feem ntawm cov lus qhia wafer, plaub p-hom domus cov lus qhia, thiab tom qab ntawd plaub-caj npab wheatstone yog tsim nrog cov plaub tsim tawm. Nyob rau hauv kev txiav txim ntawm sab nraud quab yuam, kev hloov pauv ntawm tsis kam ua nqi dhau los ua cov cim hluav taws xob. Qhov no tus choj tus choj nrog lub siab nyhuv yog lub plawv ntawm lub siab sensor, uas feem ntau hu ua Piezoresistive choj (raws li qhia hauv daim duab 1). Cov yam ntxwv ntawm cov choj Piezoresistive yog raws li hauv qab no: ① Cov nqi tiv taus ntawm plaub caj npab ntawm tus choj sib npaug (tag nrho R0); ② Cov kab ke piezoresive ntawm cov caj npab uas nyob ib sab ntawm tus choj sib npaug zos thiab rov qab ua daim paib; ③ Cov coefferance kub ntawm plaub caj npab ntawm tus choj yog tib yam, thiab lawv ib txwm nyob ntawm qhov kub tib yam. Hauv Daim Duab. 1, R0 yog tus nqi tiv thaiv tsis muaj kev ntxhov siab ntawm chav tsev kub; RT yog qhov hloov pauv los ntawm qhov kub ua kom sov coefficient ntawm kev tiv thaiv (α) thaum qhov ntsuas kub hloov; Υ Rδ yog qhov hloov pauv ntawm kev tiv thaiv los ntawm kev lim (ε); Cov zis hluav taws xob ntawm tus choj yog u = i0 Δ rΔ = i0rgΔ (tsis xwm txheej tam sim no).

Qhov twg I0 yog qhov chaw tam sim no tas li tam sim no thiab e yog tas mus li voltage qhov chaw voltage. Cov zis hluav taws xob ntawm tus choj piezoresistive yog ncaj qha rau txoj kev lim dej (ε) thiab tsis muaj dab tsi ua rau kub nyeeg tawm, uas tau txo qis ntawm qhov kub thiab txias ntawm lub ntsuas kub. Qhov dav tshaj plaws siv semiconductor siab sensor yog lub sensor rau kev kuaj tau dej siab. Nws lub ntsiab qauv yog cov tshuaj ntsiav ua los ntawm monocrystalline silicon (raws li qhia hauv daim duab 2). Lub diaphragm yog tsim mus rau hauv ib khob, thiab hauv qab ntawm lub khob yog ib feem uas muaj lub zog sab nraud, thiab lub siab choj siab yog ua rau hauv qab ntawm lub khob. Lub nplhaib Pedalal yog ua los ntawm tib silicon ib cov siv lead ua ib qho, thiab tom qab ntawd lub diaphragm yog sib raug zoo rau tus ncej. Qhov kev ntsuas ntawm lub siab no muaj qhov zoo ntawm cov kev xav zoo, cov khoom siv me me thiab tau siv dav dav, thiab cov cuab yeej siv cov khoom siv.