Cov kev hloov pauv ntawm ob hom, ib qho raws li cov kev sib tw ua ke ntawm cov kev sib tshuam ua ke (lossis kev sib tshuam schottky) hloov pauv hauv kev ntxhov siab. Qhov kev ua tau zoo ntawm cov siab no lub ntsiab yog qhov tsis ruaj khov thiab tsis tau tsim kho tau zoo heev. Lwm tus yog sensor raws semiconductor piezoresistive cov nyhuv, uas yog lub ntsiab ntau ntawm semiconductor siab sensor. Nyob rau hauv lub hnub thaum ntxov, semiconductor gauges tau txuas rau elastic cov ntsiab lus los ua kom muaj kev ntxhov siab thiab kev sib cav sib ceg ntsuas. Xyoo 1960, nrog rau kev txhim kho ntawm semiconductor sib xyaw ua ke Circuit Court Technology, ib semiconductor siab sensor nrog diffusion resistor li piezoresistive ntsiab tshwm sim. Qhov kev ntsuas ntawm lub siab no muaj cov qauv yooj yim thiab txhim khu kev qha ntawm lub lag luam kev lag luam, uas zam cov tshuab ua ke thiab nkag mus rau cov kev ua tau zoo ntawm lub sensor.

Piezoresistive cov nyhuv ntawm semiconductor semiconductor muaj cov cim kev quab yuam, uas yog qhov kev ntxhov siab, uas yog hu ua cov nyhuv piezoresistive. Qhov kev hloov pauv ntawm kev ua haujlwm ntawm chav ntsuas kev ntxhov siab yog hu ua Piezoresistive Coefficient, uas tau qhia los ntawm lub cim π. Hais qhia kev ua lej raws li ρ / ρ σ σ σ.

Qhov twg σ sawv cev kev ntxhov siab. Cov kev hloov ntawm tus nqi tiv thaiv (R / R) tshwm sim los ntawm semiconductor tsis kam, yog li kev hloov pauv ntawm cov nyhuv tiv thaiv tau, yog li kev hloov pauv ua r / r = πσ.

Raws li kev txiav txim ntawm kev quab yuam sab nraud, qee yam kev ntxhov siab (σ) thiab kev sib raug zoo ntawm cov muaju, y) ntawm cov khoom siv, y) ntawm cov khoom, y = / σ / ε.

Yog tias cov txiaj ntsig piezoresentive yog qhia los ntawm txoj hlab ntawm semiconductor, nws yog r / r = gε.

G yog hu ua qhov rhiab ntawm qhov siab sensor, uas sawv cev rau kev hloov siab hloov ntawm kev tiv thaiv tus nqi hauv qab chav tsev.

Piezoresistive Coefferient lossis rhiab heev yog qhov yooj yim lub cev parameter ntawm semiconductor cov nyhuv piezoresistive. Kev sib raug zoo ntawm lawv, ib yam li kev sib raug zoo ntawm kev ntxhov siab thiab kev sib cav, yog txiav txim siab los ntawm cov tub ntxhais hluas cov modulus ntawm cov khoom, uas yog, g = Π Y.

Vim hais tias ntawm anisotropy ntawm semiconductor muaju hauv elasticity, cov tub ntxhais hluas cov modulus thiab piezoresistive coefficient hloov nrog cov kev taw qhia crystion. Qhov ntau ntawm semiconductor piezoresistive cov txiaj ntsig tseem muaj feem cuam tshuam nrog kev tiv thaiv ntawm semiconductor. Qhov qis dua qhov tiv taus, qhov me dua qhov rhiab heev. Cov txiaj ntsig piezoresive ntawm diffusion tsis kam yog txiav txim siab los ntawm cov kev taw qhia crystion thiab impurity conistration ntawm diffusion tsis kam. Lub impurity concenation tsuas yog hais txog qhov xwm txheej loj ntawm txheej diffusion txheej.