Lub siab sensor yog ib qho ntawm cov sensors ntau dua. Cov tsoos siab sensor feem ntau yog cov cuab yeej siv tshuab, thiab qhov deformation ntawm elastic ib feem qhia lub siab. Txawm li cas los xij, vim lawv qhov loj thiab qhov hnyav, lawv tsis tuaj yeem tsim hluav taws xob.

Txoj kev loj hlob ntawm semiconductor technology kuj tau coj mus rau qhov tshwm sim ntawm semiconductor siab sensors. Nws yog tus yam ntxwv ntawm qhov me me, lub teeb yuag, siab precision thiab kev ua haujlwm kub zoo. Tshwj xeeb tshaj yog nrog kev txhim kho ntawm MEMS thev naus laus zis, cov khoom siv hluav taws xob semiconductor tab tom txhim kho nyob rau hauv cov kev taw qhia ntawm miniaturization, tsawg zog noj thiab muaj kev ntseeg siab.

Lub luag haujlwm ntawm lub siab sensors

1. Siv ncaj qha los ntsuas qhov sib txawv: cua siab, hydraulic siab, hydraulic siab (xws li hydraulic siab), txawv ntshav siab hauv lub neej txhua hnub, thiab lwm yam;

2. Lub siab sensors yog siv nyob rau hauv lub tsheb, ib co cov neeg tseem ceeb maus taus thiab yuav luag tag nrho cov internal combustion engines;

3. Cov qib kua: Cov cuab yeej siv teb siv rau ntau yam kev ntsuas ntsuas qib siab yog cov sensors siab;

4. Feem ntau cov hluav taws xob ntsuas hluav taws xob thiab cov teeb liab lub tsheb hnyav yog los ntawm cov ntsuas siab.

Lub siab sensors yog siv los tswj thiab saib xyuas qee yam kev siv. Hauv kev lag luam tsheb, MEMS siab sensors yog siv los ntsuas roj siab, log tsheb siab, airbag siab, thiab lub raj xa dej siab. Nyob rau hauv biomedical teb, MEMS siab sensors yog tsuas yog siv nyob rau hauv kev kuaj mob thiab nrhiav kom tau systems; Hauv kev lag luam aerospace, MEMS siab sensors yog siv los tswj lub dav hlau thiab chaw dav hlau;