Ib lub tshuab nqus tsev vacuum CTA (B)-A nrog ob lub ntsuas qhov chaw nres nkoj

Cov yam tseem ceeb cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum

1 Qhov ntev ntawm cov yeeb nkab diffusion yuav tsum ua kom muaj kev txhim kho tag nrho ntawm ntau lub tshuab nthwv dej ntawm lub qhov hluav taws xob lub qhov hluav taws xob, kom muaj kwv yees li ib txwm ntws tuaj yeem tau txais ntawm qhov hluav taws xob ntawm cov yeeb nkab diffusion. Txawm li cas los xij, yog tias cov yeeb nkab ntev dhau lawm, qhov kev sib txhuam poob ntawm cov yeeb nkab phab ntsa yuav nce. Nws yog tsim nyog rau ib tug dav siv kav dej yog 6-10 npaug ntawm cov yeeb nkab txoj kab uas hla. Txhawm rau txo qis lub zog poob, ib qho kev nthuav dav nrog lub kaum sab xis ntawm 6-8 tuaj yeem ntxiv rau ntawm qhov hluav taws xob ntawm cov yeeb nkab ncaj ntawm cov yeeb nkab diffusion.

2 Lub sij hawm adsorption teb yog cuam tshuam nrog lub ntim ntawm lub adsorption kab noj hniav (xws li lub ntim ntawm diffusion kab noj hniav, adsorption pipeline, suction khob los yog kaw chamber, thiab lwm yam), thiab cov leakage ntawm lub adsorption nto muaj feem xyuam rau lub siab ntawm qhov yuav tsum tau. nqus chaw nres nkoj. Rau qee qhov kev xav tau ntawm qhov chaw nres nkoj suction, qhov ntim me me ntawm qhov adsorption kab noj hniav, lub sij hawm teb luv dua; Yog tias qhov siab ntawm qhov nqus dej nkag siab dua, qhov ntim adsorption me dua, qhov dej ntws tawm me dua, thiab lub sijhawm adsorption teb luv dua. Yog tias qhov ntim adsorption loj thiab qhov adsorption ceev ceev, lub taub ntawm lub tshuab nqus tsev yuav tsum loj dua.

3 Cov cua siv (L / min) ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum yuav tsum raug txo kom tsawg ntawm qhov ua tau raws li qhov yuav tsum tau siv. Cov huab cua noj yog cuam tshuam nrog lub siab ntawm compressed cua. Qhov siab dua, qhov ntau dua qhov kev siv cua ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum. Yog li ntawd, kev saib xyuas yuav tsum tau them rau kev sib raug zoo ntawm cov khoom siv siab thiab kev siv cua thaum txiav txim siab lub luag haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev. Feem ntau, lub siab ntawm lub tshuab nqus tsev nqus tsev vacuum yog nruab nrab ntawm 20kPa thiab 10kPa. Lub sijhawm no, yog tias lub siab ntawm lub 'meter' rau muab Tuam Tshoj nce ntxiv, lub siab ntawm qhov chaw nqus dej yuav tsis txo qis, tab sis kev siv roj yuav nce ntxiv. Yog li ntawd, txo qhov siab ntawm qhov chaw nres nkoj suction yuav tsum tau txiav txim siab los ntawm kev tswj xyuas tus nqi ntws.