Cov Qauv Ntawm Piezoresistive Sensor

Nyob rau hauv no sensor, tus resistor sawb yog sib xyaw ua ke ntawm cov ntxaij vab tshaus ua ke los ua kev sib xyaw ua ke los ua cov kab ke hauv lub plhaub, thiab cov hluav taws xob coj tawm. Piezoristive sensor, tseem hu ua kev sib tw-lub xeev siab sense, uas yuav tsum muaj kev xav txog kev ntsuas sab nraud, tab sis ncaj qha pom cov taub hau uas muaj kev ntsuas los ntawm cov silicon diaphragm.

Ib sab ntawm cov silicon diaphragm yog lub siab-siab sib txuas lus nrog cov kev ntsuas ntsuas, thiab sab tod yog qhov sib txuas lus qis nrog cov cua. Feem ntau, cov silphragm yog tsim los ua lub voj voog nrog cov cheeb tsam ruaj khov thiab sib piv hauv lub cheeb tsam muaj kev ntxhov siab, uas yog nyob rau hauv ib qho kev ntxhov siab ntawm lub nroog

Tsis tas li ntawd, tseem muaj plaub fab silicon diaphragm thiab silicon kem sensor. Silicon cylindrical sensor kuj tseem ua los ntawm kev cuam tshuam ntawm lub tog raj kheej ntawm lub tog raj kheej muaj zog thiab ob lub tshuab ua kom sib xyaw ua ke.

Piezoresive sensor yog ib qho cuab yeej ua los ntawm diffusion tsis kam nyob rau ntawm substrate ntawm cov khoom siv uas yog cov khoom siv ua ke. Nws cov substrate tuaj yeem siv ncaj qha raws li ntsuas ntsuas ntsuas, thiab cov diffusion tsis kam txuas rau hauv daim ntawv ntawm tus choj.

Thaum lub substrate yog deformed los ntawm kev quab yuam sab nraud, qhov tseem ceeb yuav hloov pauv thiab tus choj yuav tsim tawm cov lus tawm suab tsis tau. Cov substrates (lossis diaphragms) siv ua cov sensorsales yog cov ntoo khaub ncaws silicon feem ntau yog cov khoom siv wafers thiab Germanium wafers. Silicon piezoresive sensors ua los ntawm silicon wafers raws li cov ntaub ntawv rhiab ntau dua thiab ntau dua cov sensors